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HORIBA堀場(chǎng)HF密度計(jì)HF-960EM

更新時(shí)間：2024-07-30

簡(jiǎn)要描述：

HORIBA堀場(chǎng)HF密度計(jì)HF-960EM
用于半導(dǎo)體制造工藝的HF濃度計(jì)HF-960EM
HF-960EM是使用帶有*潤(rùn)濕部件的傳感器作為PFA的型號(hào)，并且符合半導(dǎo)體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實(shí)現(xiàn)了節(jié)省空間的安裝。提高穩(wěn)定性和重現(xiàn)性準(zhǔn)確性，并支持高達(dá)50％HF濃度的寬量程。

特征
寬范圍設(shè)置，HF濃度高達(dá)50％
高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度
內(nèi)置溫度測(cè)量傳感器支持高達(dá)80℃的HF樣品

型號(hào)：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：1472
品牌其他品牌密度溫度范圍10℃
密度測(cè)量范圍1g/cm3最小取樣量1ml
密度精度1g/cm價(jià)格區(qū)間5千-1萬(wàn)
檢測(cè)類型測(cè)液體樣品儀器類別臺(tái)式
行業(yè)應(yīng)用通用密度計(jì)儀器種類真密度計(jì)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保

HORIBA堀場(chǎng)HF密度計(jì)HF-960EM

用于半導(dǎo)體制造工藝的HF濃度計(jì)HF-960EM

 HF-960EM是使用帶有*潤(rùn)濕部件的傳感器作為PFA的型號(hào)，并且符合半導(dǎo)體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實(shí)現(xiàn)了節(jié)省空間的安裝。提高穩(wěn)定性和重現(xiàn)性準(zhǔn)確性，并支持高達(dá)50％HF濃度的寬量程。

特征
寬范圍設(shè)置，HF濃度高達(dá)50％
高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度
內(nèi)置溫度測(cè)量傳感器支持高達(dá)80℃的HF樣品測(cè)量。 FS精度達(dá)到±0.5％。
自動(dòng)量程功能
無(wú)污染/耐化學(xué)腐蝕傳感器
清潔結(jié)構(gòu)的傳感器，僅使用PFA作為液體接觸材料。由于它是一種耐化學(xué)腐蝕的傳感器，因此可以用于測(cè)量半導(dǎo)體工藝中使用的各種化學(xué)物質(zhì)。
小型輕巧的傳感器
與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，尺寸縮小了2/3，并且重量進(jìn)一步減輕。通過(guò)將其安裝在單晶圓噴嘴的前面，可以提高安裝空間的靈活性

 

 

仕様

型式

HF-960EM

測(cè)定レンジ

HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導(dǎo)電率: 0 - 2000 mS/cm

繰り返し性

フルスケールの+/- 0.5% 以內(nèi)（等価入力にて）

直線性

フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以內(nèi)（等価入力にて）

伝送出力

出力點(diǎn)數(shù)：4點(diǎn)

接點(diǎn)出力

出力點(diǎn)數(shù)：5點(diǎn)

接點(diǎn)入力

入力點(diǎn)數(shù)： 2點(diǎn)

通信機(jī)能

RS-485

電源

DC 24 V +/- 10% 15W

適合センサ

CM-520 Series

接液部

PFA

 

 

 

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